半导体材料与工艺:半导体工业中的电子特气浅谈

将含有AsH3的气态PH3在无氧气氛中通过热的(200～350℃)活性炭,AsH3即可分解而得到纯PH3。4.己硼烷(B2H6)将粗制B2H6经低温吸附、升温脱附后可除去CH4、CO2等杂质5.砷烷(AsH3)。采用吸附法分离其它氢化物、H2S、NH3等杂质。NaA分子筛对于除水、NH3和H2S特别有效。L’AirLiquide和美国Solkatronic公司...

高中化学丨30个分类专题全汇总!|碱金属|单质|氧化|化合物_网易订阅

2.H2S法:通往H2S气体或加入氢硫酸,有浅黄色沉淀析出者是Fe3+,而Fe2+溶液不反应。2Fe3++H2S==2Fe2++2H++S↓3.KSCN法:加入KSCN或其它可溶性硫氰化物溶液,呈血红色者是Fe3+溶液,而Fe2+的溶液无此现象。这是鉴别鉴别Fe3+与Fe2+最常用、最灵敏的方法。Fe3++SCN??==[Fe(SCN)]2+4.苯酚法:分别...

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2.除杂通入硫酸铜:"杂"指混在乙炔中的H2S和PH3杂质,意思是说为了除去乙炔中的H2S和PH3杂质,得到较纯净的乙炔,可以使气体通过硫酸铜溶液H2S+CuSO4=CuS↓+H2SO4PH3+CuSO4=H3PO4+4H2SO4+4Cu2SO43.不拜启普意如何?吸水放热气势汹:这句的意思是说电石和水反应也是固体和液体之间的反应,但是为什么不能...

半导体材料之电子特气深度报告:晶圆制造之血液

也就是气体类别中的电子气体,比如高纯度的SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等,在IC生产环节中,使用的电子气体有差不多有100多种,核心工段常见的在30种左右。

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2、Na与H2O(放有酚酞)反应,熔化、浮于水面、转动、有气体放出(熔、浮、游、嘶、红)3、焰色反应:Na黄色、K紫色(透过蓝色的钴玻璃)、Cu绿色、Ca砖红、Na+(黄色)、K+(紫色)4、Cu丝在Cl2中燃烧产生棕色的烟5、H2在Cl2中燃烧是苍白色的火焰...

电子特气行业深度报告:国产化迎历史性机遇

制备分两步:原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600-620℃下高温合成,其反应:Zn+As→Zn3As2;另一步是用Zn3As2同稀硫酸作用,Zn3As2+H2SO4→AsH3+ZnSO4,产品的收率为80%以上(www.e993.com)2024年11月22日。生成的AsH3杂质的含量取决于Zn3As2的纯度,通过系列的提纯单元,AsH3纯度大于5.5N以上。

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(CL2)8氯化氢(HCl)9磷化氢(PH3)10氰化氢(HCN)11溴甲烷(CH3Br)12氯化氰(抑制的)(CNCl)13三氟化氮(NF3)14三氟化硼(BF3)15四氟化硅(SiF4)16氯甲烷(CH3Cl)17溴甲烷(CH3Br)18一氧化二氮(N2O)其它重要气体1氧气(O2)2二氧化碳(CO2)3臭氧(O3)有毒(腐蚀性)...

半导体工业用电子特气浅谈

3.磷烷(PH3)美国Solkatronic公司有两套PH3纯化装置,粗PH3经催化除杂质后再经吸附纯化。将含有AsH3的气态PH3在无氧气氛中通过热的(200～350℃)活性炭,AsH3即可分解而得到纯PH3。4.己硼烷(B2H6)将粗制B2H6经低温吸附、升温脱附后可除去CH4、CO2等杂质。