同济团队研发纳米制造精准“标尺”,相当于把一个蛋糕按扇形均分成...

二维铬纳米栅格标准物质突破性地采用分步沉积原子光刻技术，制备难度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数（铬原子跃迁频率），角度绝对准确性在0.001°量级，相当于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm（微米）×300μm（微米），在没有划伤或破坏的状况下，每次使用2μm...

同济大学自主研发国内首个纳米制造精准“标尺”

可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准;也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。上个月,同济大学和德国联邦物理技术研究院关于缩短溯源链的皮米精确度纳米计量成果发表于测量领域国际著名期刊《测量科学与技术》(MeasurementScienceandTechnology)。国家标准物质定级证...

国内首次!同济自主研制纳米级角度国家一级标准物质

近日,国家市场监督管理总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质,均由同济大学物理科学与工程学院李同保院士、程鑫彬教授团队研制,主要应用于先进测试仪器的纳米长度与角度同步校准,为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标...

我国首次建立纳米级角度国家一级标准物质,背后是同济大学科研团队

团队成员介绍,维铬纳米栅格标准物质既可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳检测设备校准,也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干涉法校准。就在上个月,同济大学和德国联邦物理技术研究院关于缩短溯源链的皮米精确度纳米计量成果发表于测量领域国际著名期刊《测量科学与技术》。本次获批的3...

国内首次!同济自主研制!_澎湃号·政务_澎湃新闻-The Paper

近日,国家市场监督管理总局新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质,均由同济大学物理科学与工程学院李同保院士、程鑫彬教授团队研制,主要应用于先进测试仪器的纳米长度与角度同步校准,为新一代信息技术、新材料、生物制造、高端装备等领域的纳米制造提供精准“标...

国产进入新一轮研发潮:电子束曝光机市场与企业盘点

国内研发设备的加速电压停留在30kV以下,扫描速度普遍不超过10MHz,相应的拼接套刻精度均在亚微米量级,而电子束束斑在整机自主化研发设备中由于热发射钨电子枪和LaB6的限制停留在几十纳米量级,整体设备性能与国外顶尖设备有较大的差距(www.e993.com)2024年11月27日。市场概况根据QYResearch研究团队调研统计,2022年全球电子束光刻系统(EBL)市场...

数控加工中心一丝等于多少毫米?

我们在机械制造行业中经常接听到师父说的是1丝,但是1丝等于多少微米?有时经常不清楚今天我们就了解一下1丝等于多少微米。首先我们一个我国长度单位有那些:公里{千米}(km)、米(m)、分米(dm)、厘米(cm)、毫米(mm)、丝米(dmm)、忽米(cmm)、微米(μm)、纳米(nm)、皮米(pm)、飞米(fm)、阿米(am)等。书写...

最小的单位是夸克还是纳米

1夸克和纳米哪个是最小的单位夸克最小。纳米是长度单位,是1/100000毫米,和原子直径差不多,夸克更小。原子是质子中子电子放一起,质子中子电子里面才是夸克。至于纳米,1nm=1^-9m,不同元素原子的直径肯定不一样,所以,说1nm是4倍原子大小非常不严谨,氢原子的直径是0.1nm。到了上个世纪30年代,人类对基本粒...

中国科大在大量程纳米位移光学感测研究方面取得新进展

实验测试证明,这一偏振编码超表面系统的位移感测精度可以达到100皮米(图1)。进一步,课题组通过移相方法实现了测量范围的周期性延拓,并消除了感测灵敏度的“死区”,偏振编码超表面系统的感测量程可以拓展到200微米以上。与基于光学天线散射的纳米位移感测技术不同,这项研究工作在保持亚纳米的位移感测精度的同时,极大...

皮米精度激光干涉仪如何在众多前沿领域中大显神通?

通过使用德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪FPS1010(新版本为IDS3010),该雷达测量系统在-3.9um至+2.8um之间实现了-0.5-0.4um的超高精度。这种新型的高精度雷达传感器将会应用于许多全新的汽车自动驾驶领域。更多信息请了解:S.Thomas,etal;IEEETransactionsonMicrowaveTheoryandTechniques67,11...