硅烷特气管道控制系统设计应该注意哪些因素
2、利用硅烷可以实现zui高的纯度、zui精细(可达原子尺寸)的控制和最灵活多变的化学反应。从而将各种含硅材料按各种需要制成复杂精细的结构,这正是现代具有各种特异功能的材料和器件所要求的基本条件。硅烷特气柜控制系统设计规范1、硅烷由于其极其危险性,整套系统应该设置独立的惰性气体钢瓶进行吹扫,不得采用管道氮...
中船特气: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司2024年第一次临时...
股票代码:688146??????????????????股票简称:中船特气中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司????????????????????????????会议资料????????????????????????????二〇二四年二月??????????????????????????????????...
沃飞科技:工业气体管道振动分析及减震方案
当压力脉动的频率和管道系统的气柱自振频率相等或相近时,系统即产生对应该阶频率的共振,当压缩机的激发频率进入气柱固有频率的区域时,就会引起强烈的气柱共振,气流脉动非常严重,引起管道甚至压缩机和基础的强烈振动,导致气阀损坏乃至整个机组及管路的振动加剧。1.2管道机械共振其实管道本身也是一个弹性系统,具有一定...
色谱仪的供气系统管道用什么材质的好--沃飞科技
在色谱仪的供气系统管道使用中,有的管道材质用黄铜的,也有的用聚四氟乙烯的,更有甚至用普通塑料管的,其实小编想说的最好的材质是用不锈钢316材质的,因为聚四氟乙烯易老化断裂,对于高灵敏度检测器有影响。而铜管软,易于整理线路,但是时间久了发绿发黑难看。不锈钢稍微漂亮点。塑料管不能用于高灵敏的检测器,ECD之类的...
电子特气行业深度报告:半导体新周期将至,国产替代如火如荼
特气纯度均会对最终出厂晶圆的精度和性能造成影响,因此半导体领域对特气纯度和精度要求较高(工艺尺寸缩小、堆叠层数增加,部分环节需要多次重复,对特气的需求也就越大);同时电子特气也可作用于光伏电池和LCD液晶面板生产中的刻蚀、扩散环节,作为原料在光伏电池表面生成“减少反射膜”,或作为保护气和设备清洗气...
半导体蚀刻设备行业深度研究:国产刻蚀机未来可期
多晶硅刻蚀是最重要的刻蚀工艺之一,因为它决定了晶体管的栅极,而对栅极尺寸的控制很大程度上决定了集成电路的性能(www.e993.com)2024年9月17日。多晶硅的刻蚀要有很好的选择比。通常选用卤素气体,氯气可实现各向异性刻蚀并且有很好的选择比(可达到10:1);溴基气体可得到100:1的选择比;HBr与氯气,氧气的混合气体,则可以提高刻蚀速率。
正帆科技: 上海正帆科技股份有限公司2022年度以简易程序向特定...
??????????????????技术。电子工艺设备实现将光刻所需的化学品材料输送至晶圆的特定区??????????????????域。??????????????????过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。电子工艺设备实现刻蚀用气??????????????????体或化学品的输送。
混氢天然气输氢技术研究进展
在世界范围内,天然气管道通常使用X70和X80管线钢,而氢气管道通常使用X42和X52管线钢,我国天然气管道材料主要是钢质。氢脆对不同牌号钢材的影响不同,但都会导致材料性能恶化。小尺寸零件如螺栓、弹簧、铆钉等由于其加工成型时变形量大,晶粒粒径小,更容易发生氢脆问题,对于一些关键连接部件,应当定期检测并及时更换。
半导体材料深度报告:半导体材料明珠生辉,国产化进程水到渠成
5.电子特气:普通气体国产化具有较高份额,特殊气体国产化率仍较低在半导体晶圆制造工艺中,气体的使用非常广泛,通常统称为高纯特种气体或高纯电子级气体,具有高纯度与高危险性。由于在化学气相沉积、刻蚀、离子注入、外延等最前端制造工艺中,气体中的有害杂质浓度对芯片的成品率有着直接的影响。目前,大部分...
芯片制造的根基!半导体材料深度报告,详解七大核心材料| 智东西内参
大尺寸硅片是硅片未来发展的趋势。大尺寸硅片带来的优点有两个:单片硅片制造的芯片数目越多:在同样的工艺条件下,300mm半导体硅片的可使用面积超过200mm硅片的两倍以上,可使用率(衡量单位晶圆可生产的芯片数量的指标)是200mm硅片的2.5倍左右,大尺寸硅片上能制造的芯片数目更多;...