EUV光刻新方案,大幅降低成本!|光程|物镜|光学|掩膜|掩模|反射镜...

实际上,我们需要用干涉仪在可见光波长下测量反射镜的质量。晶片侧是远心的,但掩膜侧不是。因此,主光线是倾斜的;在视场边缘倾斜1.6度(~50毫米/2000毫米弧度)。考虑到衍射锥的半角(NA/5=0.04弧度=2.4度),掩膜边缘多层反射层涂层的最大反射角为4度。该角度小于钼/硅多层涂层的12度截止角,因此...

大规模设备更新:中等职业学校工业分析技术专业实训教学设备要求

4.带洗眼喷淋头。5.中央实验台的尺寸一般为长×宽×高=7200mm×1500mm×900mm套4GB/T21747—2008根据实训室结构确定采用中央实验台或边台及长度2通风橱主要功能:使用有毒有害易挥发物质时的专门空间。技术要求:1.外壳:表面耐腐蚀性强。2.内壳:采用耐酸碱、有机溶剂之实训室专用...

激光雷达历史、发展梳理

有源区的两侧是氧化限制层,一方面起着限制载流子的作用,另一方面起着调节谐振腔长度的作用,使其谐振波长正好是所需要的激光波长。限制层两侧是上下反射镜,通常采用N型和P型布拉格光栅(N-DBR/P-DBR)作为谐振器反射镜。N-DBR在下方作为全反射镜,反射率接近99.9%。P-DBR在上方作为部分反射镜,反射率也大于99%。

基础知识之激光二极管

振荡波长(λ):测量方法使用APC驱动器,使LD的光输出保持一定。使用集光镜头令激光入射到光纤上,再通过光纤输入光谱分析仪,观测振荡光谱。测量示意图八、像散差(As)何谓像散差(As)?激光二极管接合部在垂直方向和水平方向上外观的焦点位置不同。将这2个焦点间的距离定义为像散差(As)。

大规模设备更新:中等职业学校化学工艺专业实训教学设备要求

5.中央实验台的尺寸一般为长×宽×高=7200mm×1500mm×850mm套4GB/T21747—2008根据实训室结构确定采用中央实验台或边台及长度2通风橱主要功能:使用有毒有害易挥发物质时的强制通风空间。技术要求:1.外壳:表面耐腐蚀性强;2.内壳:采用耐酸碱、有机溶剂之实训室专用抗蚀材质;设有可拆卸维修...

我公司与安徽合肥客户签订ZG-4A,ZG-4B紫外辐照计采购合同

操作方法1.打开电源开关,液晶显示屏显示数字2.调零:在无紫外线照射下,换挡开关在×1档,旋转调零按钮,使零点在A型:-00.1～00.1(B型:-001～001)之间3.检查一下换挡开关是否在×1档(www.e993.com)2024年11月7日。4.取下探头保护盖,检查光敏窗是否清洁。5.测量:将探头窗口置于测量位置,显示数值即为辐照强度值,单位:μw/cm2。当数值...

摩尔定律全靠它 CPU光刻技术分析与展望

随着集成电路由微米级向钠米级发展,光刻采用的光波波长也从近紫外(NUV)区间的436nm、365nm波长进入到深紫外(DUV)区间的248nm、193nm波长。目前大部分芯片制造工艺采用了248nm和193nm光刻技术。目前对于13.5nm波长的EUV极端远紫外光刻技术研究也在提速前进。

紫外分光光度计9月热度榜单,值得收藏

多种附件可选汞灯校准波长光谱带宽连续可调快速响应Part1匠心打造品质积淀Q-6精选优质元件,配色舒适,从实用性、通用性、稳定性、灵活性等多方面研发理念出发,匠心打造,降低背景干扰,避免系统误差,提高分辨率;工艺精湛外壳采用精密注塑工艺,尺寸精度高,且能够保持长久尺寸稳定性,刚性加强,外观平滑,外形线条更...

常用生化检测项目分析方法举例及参数设置

2.方法类型(也称反应模式)方法类型(assay)有终点法、两点法、连续监测法等,根据被检物质的检测方法原理选择其中一种反应类型。3.反应温度一般有30℃、37℃可供选择,通常固定为37℃。4.主波长主波长(primarywavelength)是指定一个与被测物质反应产物的光吸收有关的波长。