...半导体结构及其制作方法专利,提高光刻精度,降低转移后的图案的...
专利摘要显示,本申请提供一种半导体结构及半导体结构的制作方法,用以解决相关技术中转移后的图案粗糙度较高的问题。半导体结构包括衬底,衬底上设置有第一掩膜层,第一掩膜层的顶表面覆盖有光阻层,第一掩膜层和光阻层之间设置有复合抗反射层,复合抗反射层包括第一层和第二层,第二层位于第一层远离第一掩膜层的一侧,...
这块带螺纹的玻璃,可能是实现6G的关键|光学|光子|微波|太赫兹|...
他们将设计好的螺旋形图案,用激光脉冲蚀刻在不锈钢板上,让碳纳米管薄膜图案沉积在硝化甘油滤光片上,再将其转印到可拉伸弹性纤维素薄膜上,制成了碳纳米管太赫兹(THz)波束变焦菲涅耳透镜。透镜生产过程:将图案a)用激光蚀刻在不锈钢板上b),碳纳米管薄膜沉积在c)上,再转印到可拉伸弹性膜d)上。f)是细节的扫描电镜...
重磅!2022中国光学十大进展发布
同济大学物理科学与工程学院王占山和程鑫彬联合复旦大学物理学系周磊,提出了一维多层膜结合二维超表面的准三维亚波长新结构,通过传输波和布洛赫波的高效耦合增强非局域能流调控能力,首次实现了效率优于99%的光频异常反射。研究成果有望推动新型波束扫描系统等仪器装备的发展。7/超长寿命的钙钛矿LED浙江大学狄大卫、赵保...
涡旋波超表面研究现状与应用进展|高斯|辐射|相位|电磁波_网易订阅
式中,LGp,l为拉盖尔-高斯波束的模式函数,p和l分别代表径向和角向量子数,r为到光束中心的径向距离,φ为相对于参考轴的角坐标,ω(z)为涡旋波束在传播距离为z时的束腰半径,R(z)为在传播距离z时波前的曲率,表示拉盖尔缔合多项式,zR为瑞利距离,k为电磁波波数,定义为k=2π/λ。如图4所示,Bessel波束的结构特征...
美国能源部发布《聚变能源战略2024》,支持拜登政府聚变能源十年...
该艇自主航行能力3500海里,持续作业30天,可以配备多种有效载荷,如多波束回声测深仪(MBES)、海底剖面仪(SBP)和声学海底定位和通信系统(USBL)。此外,该艇还配备了一个发射和回收系统,用于部署遥控拖曳机器人(ROTV)、检查级遥控机器人(ROV)和自主水下机器人(AUV),未来可执行全海深科学和水文调查。
EUV光刻,如何发展?
多波束掩模写入器已经投入使用多年,有助于解决这个问题(www.e993.com)2024年8月6日。另一方面,用于评估图案化掩模的转移特性的测量技术仍然存在许多问题,包括其成本效率,并且还存在对亮场掩模、亚分辨率辅助特征和缺陷控制的担忧。此外,EUVL具有足够透射率和长寿命的薄膜的实际应用也是一个问题。对于EUVL的HighNA时代,由于将使用变形光学系统,掩模...
华中科技大学团队开发细菌纤维素超声超构表面,可用于新型超材料
在全息实验中,样品蒙板精细调制的超声波束被投射到透镜后方35毫米处形成一个‘H’形全息图案。与理论结果相比,模拟和实验结果的均方误差(MSE)分别为0.1294和0.1425。作者定量比较了截面线I、II和III上的强度分布,结果呈现出密切的相似性。实验测量是在一个水箱中进行的(70×120×80立方厘米)。由于...
硅KOH蚀刻:凸角蚀刻特性
发现对于钝角凸角,菱形角补偿提供了最好的结果,对于锐角凸角,菱形和波束图案都是有效的。介绍建立硅在KOH水溶液中的Ekh作用虽然已有许多关于取向硅的腐蚀速率的报道,但参考文献中的数据。6-10的差异相当大。因此,蚀刻速率在进行实验之前,必须确定晶面及其比例。选择氢氧化钾(KOH)作为蚀刻剂是因为它的高选择性...
“宙斯盾”SPY-1系列相控阵雷达参数|雷达系统|驱逐舰|舰船|巡洋舰...
天线和波束宽度每个宙斯盾雷达系统都有4个雷达天线阵面。从SPY-1B开始采用了一个新型天线,虽然它表面上与SPY-1A的天线相似,却包含了一些重大的改进。特别是1B相对于1A版本改善了最大和平均副瓣,并消除了天线扫描角度范围内的栅瓣。这些改进是通过将天线细分为比1A天线(68个阵,每个子阵64个单元,总共4352个单...
杨大全/陈锦辉:动态控制太赫兹波束偏转的可编程二氧化钒超表面
但对于可编程超表面来说,实现实时且宽角度的波束扫描仍然是一个挑战。本文中,北京邮电大学杨大全教授课题组联合厦门大学陈锦辉副教授提出了可以动态控制太赫兹波束偏转的可编程二氧化钒(VO2)超表面。通过将可逆相变材料VO2集成到超表面中,团队设计了1比特和2比特的编码超表面。通过改变编码序列,1比特编码超表面可实现...