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刻蚀工艺步骤
3D 堆叠晶体管是未来:韩国半导体厂商周星工程研发 ALD 新技术,降低 EUV 工艺步骤需求
7月16日 09:08 - IT之家
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中微公司申请基座、等离子体刻蚀装置及基座的制备方法专利,降低ESC制备工艺的难度,使其适用于高温制备工艺
6月21日 11:05 - 金融界网站
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凯众股份申请聚氨酯缓冲块生产方法专利,改进后的工艺流程简化操作步骤,提高设备利用率,使得生产过程更为高效快捷
6月18日 05:50 - 金融界网站
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