半导体人必须知道的259个专业名词解释!
2019年7月9日 - 网易
78、椭圆测厚仪将已知波长的入射光分成线性偏极或圆偏极,照射2003-7-17在待射芯片,利用所得的不同椭圆偏极光的强度讯号,以Fourier分析及Fresnel方程式,求得待测芯片膜厚与折射率的仪器,称为椭圆测厚仪(Ellipsometer)。简单的结构如下图所示:79、电子迁移可靠度测试EM(ElectronMigrationTest)电子迁移可靠度测试,...
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78、椭圆测厚仪将已知波长的入射光分成线性偏极或圆偏极,照射2003-7-17在待射芯片,利用所得的不同椭圆偏极光的强度讯号,以Fourier分析及Fresnel方程式,求得待测芯片膜厚与折射率的仪器,称为椭圆测厚仪(Ellipsometer)。简单的结构如下图所示:79、电子迁移可靠度测试EM(ElectronMigrationTest)电子迁移可靠度测试,...