又一突破!我国成功研发DUV光刻机,成功研发打了多少人的脸!
当前全球最尖端的光刻设备是阿斯特拉制造的极紫外光刻机,简称“EUV”。根据工信部的最新消息,尽管这并非最新技术,其激光波长已达到193纳米,这对中国来说已经发挥了重要的作用。实际上,除了技术上的创新外,还有一个相当重要的意义,那就是我们在芯片制造领域进一步实现了可控性。道路是人们打拼出来的,现在我们已经...
干货满满!荷兰刚宣布扩大管制,我国就公布2条重磅光刻机消息
每一代都是向着缩小曝光线宽的方向在发展,主要方式就是缩小光刻设备光源光波长,从原来的g线、h线、i线发展成深紫外、极紫外,X射线,波长从436nm缩小到13.5nm。荷兰刚宣布针对中国扩大光刻机出口管制,我国就公布2条重磅光刻机消息予以反制据《环球时报》报道,针对荷兰6日宣布扩大对先进半导体制造设备...
中国国产DUV光刻机迎来里程碑式进步,套刻≤8nm
ArF(氟化氩)准分子激光源光刻机,光源实际波长突破193nm,缩短为134nm,NA值为1.35,最高可实现7nm制程节点。浸入技术是指让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中,由于液体的折射率大于1,使得激光的实际波长会大幅度缩小。套刻精度就是常说的“多重曝光能达到的最高精度”,按套刻精度与量产工艺1:3...
水杨酸己酯安全性:从光安全性到人体研究
①吸收光为自然光线(波长范围为290-700nm);②吸收紫外/可见光后产生反应物质;③在光暴露组织(如皮肤、眼睛等)有足够的分布。如果不满足这些条件中的一个或多个,化合物通常不会产生直接的光毒性。《化妆品安全评估技术导则》皮肤光毒性试验评价化妆品原料和/或风险物质引起皮肤光毒性的可能性;皮肤光...
中国光固化材料行业发展趋势研究报告(2023-2030年)
光固化是指在光(紫外光或可见光)的照射下,光引发剂吸收特定波长的光子,产生自由基或阳离子,引发单体和低聚物发生聚合和交联反应,在极短的时间里生成网状结构的高分子聚合物,进而实现固化。由此使得涂料、油墨、黏合剂等在数秒内由液态转化为固态。UV固化过程一般可分为以下五个阶段:(1)光引发剂吸收紫外光,成为...
工信部发布2024年版重大技术装备推广目录,聚焦国产光刻机新突破
值得注意的是,氟化氪(KrF)与氟化氩(ArF)气体均服务于深紫外(DUV)光刻机,是产生深紫外光的关键元素(www.e993.com)2024年9月19日。而ArF准分子激光源光刻机,通过技术创新,实现了光源实际波长从传统的193nm缩短至134nm,结合高数值孔径(NA1.35)技术,使得该光刻机在理论上能够支持最高达7nm的制程节点,展现了国产光刻机向更高...
浩洋股份:目前公司紫外的产品所采用的紫外线波长为253.7纳米,属于...
浩洋股份(300833.SZ)7月18日在投资者互动平台表示,目前公司紫外的产品所采用的紫外线波长为253.7纳米,属于短波紫外线(UVC),杀菌率高,但该设备并不具备灭蚊功能。公司将会持续密切关注相关市场需求与技术发展,感谢您对公司的关注。谢谢!(记者蔡鼎)免责声明:本文内容与数据仅供参考,不构成投资建议,使用前核实。
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据悉,EUV光刻机采用13.5nm波长的极紫外光,可实现8nm的曝光分辨率,用于先进制程芯片制造;其技术难点在于光学系统、光源等关键子系统。本次上海微电子披露的专利主要涉及EUV光源和光刻设备,其中重点的极紫外辐射发生器(光源)主要包括腔体、靶材发生器、激光发生器、收集镜、电极板、气控部件等关键部件。
翡翠紫外可见光谱是什么意思?探讨其天然翡翠特征谱及437nm波长特性
手镯紫外可见光谱是指手镯在紫外光和可见光范围内吸收和发射的光区光的紫光分布情况。手镯是一种常见的仪测首饰,它往往由金属、宝石或其他材料制成。手镯的根据颜色和质地常常是其吸收和反射特性的区域结果。紫外可见光谱是通过测量手镯在特定波长范围内对光的通常吸收和发射来定义的穿透。通过此类方法,咱们可以熟悉手...
没有EUV光刻机,怎么做5nm芯片?
目前ArF光刻机的镜头可将sinθ值做到0.93,EUV光刻机目前只能达到0.33,Hyper-NAEUV的目标值是0.75,也是ASML的终极项目。如果未来没有新技术发明出来,这很可能是芯片物理光刻技术的终结。2)缩短波长:材料与镜头的精准搭配缩短波长主要依靠光源的改变,比如g-Line,i-Line的UV(紫外光),KrF,ArF的DUV(深紫外光)...