中科院半导体所潘教青团队在无源光学相控阵方面取得新研究进展

摘要:为了降低无源光学相控阵的相位噪声并提高其点云密度,中科院半导体研究所潘教青团队提出了一种基于氮化硅的无源光学相控阵????近年来,随着激光雷达、自由空间光通信、激光成像和生物传感器等多个领域对片上光束控制方案的需求迅猛增加,多种固态扫描方案都得到了极大发展。其中,基于硅光子学的光学相控阵凭借着在成本...