西安交大科研团队实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产
据交大新闻网早前消息,西安交通大学王宏兴教授团队采用自主研发技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的量产,这对于半导体器件全面提升性能,为国内半导体产业前沿领先原材料供给和技术发展提供了重要保障。“大尺寸单晶金刚石生产设备和高质量单晶金刚石衬底的制备技术,是我们需要攻克的关键技术,以打破国外的...
十年磨剑,实现2英寸单晶金刚石电子器件量产
“硅、蓝宝石等衬底的商业化,为异质外延单晶金刚石提供了前提条件。”王宏兴说。近日,西安交通大学王宏兴教授团队采用自主研发技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的量产。10年前,我国在此方面的研发几乎是空白,2013年作为西安交大引进的国家级特聘专家人才王宏兴组建西安交大宽禁带半导体材料与器件研究...
实力满满!西安交大科技力
近日,西安交通大学王宏兴教授团队采用自主研发技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的量产。王宏兴团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化,并通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控,进而提高了异质外延单晶金刚石成品率。其衬底表面具有台阶流(step...
十年磨剑!西安交大王宏兴教授团队实现2英寸单晶金刚石电子器件量产
“硅、蓝宝石等衬底的商业化,为异质外延单晶金刚石提供了前提条件。”王宏兴说。近日,西安交通大学王宏兴教授团队采用自主研发技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的量产。10年前,我国在此方面的研发几乎是空白,2013年作为西安交大引进的国家级特聘专家人才王宏兴组建西安交大宽禁带半导体材料与器件研究...
【科技自立自强】西安交大王宏兴教授团队实现2英寸异质外延单晶...
科技自立自强西安交大王宏兴教授团队实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底量产金刚石半导体具有超宽禁带(5.45eV)、高击穿场强(10MV/cm)、高载流子饱和漂移速度、高热导率(22W/cmK)等材料特性,以及优异的器件品质因子(Johnson、Keyes、Baliga),采用金刚石衬底可研制高温、高频、大功率、抗辐照电子器件,克服...
西安交大成功实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产
西安交大成功实现2英寸异质外延单晶金刚石衬底量产近日,由西安交通大学王宏兴教授领衔的创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得了重大进展和突破(www.e993.com)2024年10月20日。该团队采用一种基于微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术实现了2英寸异质外延单晶金刚石衬底的量产,这一创新成果标志着我国在超硬材料领域的研究已达到国际领先水平,将为...
2023第九届中国超硬材料产业发展大会在郑州开幕
中国科学院电工研究所谢波玮博士作了题为《金刚石在高频声学滤波器领域应用的关键技术研究》的报告、中国科学院宁波材料技术与工程研究所张文武研究员作了题为《硬脆材料激光精密加工技术》的报告、西安交通大学王宏兴教授作了题为《金刚石半导体材料研究进展》的报告、哈尔滨工业大学朱嘉琦教授作了题为《金刚石及其...
西安交大创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得重大进展
西部网讯(记者刘望)近日,由西安交通大学王宏兴教授团队领衔的“德盟特半导体”创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得了重大进展和突破。作为秦创原总窗口入驻企业,其在研的技术产品主要面向第四代半导体材料、器件及5G通讯等行业,对于提升我国半导体材料器件行业水平,促进新一代半导体技术代差更迭具有重要意义。
MPCVD 单晶金刚石生长研究及其进展
国内近些年来也陆续出现多种商用型单晶金刚石MPCVD设备,其中具有代表性的是西安交通大学王宏兴教授团队自主研发的圆柱谐振腔式MPCVD系统,生长CVD金刚石质量高、工艺稳定、重复性好。同时,武汉工程大学在MPCVD金刚石生长设备上也有一定研究,北京科技大学利用直流电弧等离子喷射设备生长金刚石,西南科技大学采用环形...
西安交大王宏兴教授团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得重大进展
近日,由西安交通大学王宏兴教授团队领衔的“德盟特半导体”创业团队在单晶金刚石衬底技术产业化上取得了重大进展和突破。作为秦创原总窗口入驻企业,其在研的技术产品主要面向第四代半导体材料、器件及5G通讯等行业,对于提升我国半导体材料器件行业水平,促进新一代半导体技术代差更迭具有重要意义。