终于破冰!氟化氩光刻机有多牛?8纳米工艺可以量产了?

科技自强的里程碑：氟化氩光刻机的诞生在荷兰宣布扩大光刻机出口管制范围后不久，中国工信部发布的《首台重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中，氟化氩光刻机的出现，无疑是中国芯片产业自主创新的又一里程碑。这款光刻机以其先进的深紫外光源技术，实现了对8纳米及以下芯片的制造能力，标志着中国在高端...

官宣了!国产DUV光刻机成了,属于中国人自己的高端光刻机诞生了

在全球科技竞争日益激烈的今天，一条重磅消息瞬间点燃了全国人民的热情：我国自主研发的DUV光刻机正式亮相。这一消息如同一颗重磅炸弹，迅速在科技界和社会各界引起了广泛关注与热烈讨论。国产DUV光刻机的成功，不仅标志着我国在高端制造领域迈出了坚实的一步，更在国际科技舞台上掀起了巨大的波澜。几个月前，荷兰政府...

中国国产光刻机官宣后,美国宣布砸30亿,誓在新能源领域搞大动作

多年来,中国在半导体领域长期受到西方国家的技术封锁和限制,尤其是光刻机这种高端设备被美国及其盟国严格控制。然而,封锁并未阻止中国前进的步伐,反而促使中国企业和科研机构,不断加大对核心技术的攻关力度。上海微电子、华为等国内领军企业,联合各大科研院所,在光刻机的研发上取得了一系列突破。在不久前,国产光...

中国造光刻机无望?中科大高层放狠话:中国永远都造不出来

可以说,光刻机对技术的要求,就像是要在一根头发丝上雕刻出《清明上河图》一般精细。除此之外,光刻机研发所需的资金投入也是一个极大的挑战。ASML花费数十年时间和巨额资金,才掌握了光刻机的核心技术,并且其光刻机的每台造价都高达上亿美元。对于任何一个国家来说,这样的研发投入不仅需要长期的技术积累,更需...

美梦被打醒:国产光刻机崛起后,美国怒砸30亿赶超新能源

在1980年时，中国成功研制出国内首台“自动对准分步投影光刻机”，实现了能加工最细线宽达0.8微米的成果。其在很大程度上填补了国内技术空白，而后投入批量生产并交付使用，此成果更是荣获1981年北京市首届科技成果一等奖。在2024年，据工业和信息化部所发布消息，中国氟化氩光刻机获重大突破，核心技术...

重磅!50亿国产光刻机厂震撼落地,ASML地位不保?

PART.01——50亿光刻机厂的诞生:浙江绍兴的崛起2023年6月24日,浙江绍兴传来一个振奋人心的消息:一座投资达50亿人民币的国产光刻机工厂正式落地(www.e993.com)2024年11月2日。这一重大举措标志着中国在半导体制造关键设备领域取得了显著突破。在全球半导体供应链中,光刻机长期被国外公司垄断,尤其是ASML几乎占据了大部分市场。长期以来,ASML通...

俄罗斯终于有了光刻机,技术却落后30年

这种费了大力气扶持的希望也终于看到了成效,从苏联到俄联邦,历经几代人,终于制成的350纳米光刻机,在泽列诺格勒(当年的苏联硅谷)的工厂里诞生。虽然网友们不觉得有啥先进的,但他们倒也还算按部就班,毕竟350纳米光刻机现在已经在量产测试了,照VasilyShpak的说法,2026年预计到130纳米,然后进步...

全球最大光刻机制造商要“出走”?荷兰政府花近200亿元挽留!公司回应

1984年诞生于荷兰小镇埃因霍温的ASML,至今已成立了40年。这家公司目前几乎垄断了全球光刻机的市场份额,掌握着制造先进芯片的命脉。荷兰也因为ASML在全球半导体产业中拥有举足轻重的地位。荷兰发起“贝多芬行动”挽留另据参考消息,这项代号为“贝多芬行动”的计划主要是为了阻止阿斯麦公司为吸引有才能的员工而迁往国外。

光刻技术,有了新选择

自1961年*台光刻机诞生以来,光刻机经历了接触式→接近式→投影式的发展路线,如今以投影式中的步进扫描式光刻机为主流。在不同的阶段,每一代光刻机都遇到了前所未有的挑战与难题,与此同时,光刻技术也在这个过程中不断演进。1、光刻技术的发展路径,接触式光刻技术...

EUV光刻机,大结局?

1884年,阿贝和奥托·肖特(FriedrichOttoSchott,1851年~1935年)在耶拿创建肖特玻璃厂。众所周知,当前,EUV光刻机的镜头系统由蔡司公司所制造,镜头系统采用的超低热膨胀玻璃来自于肖特公司。1896年,英国物理学家瑞利以“Airy斑”理论为基础,对“Abbe光学衍射极限理论”进行了进一步的延伸和细化,建立了“瑞利判据”...