我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质
2024年9月13日 - 百家号
中国计量科学研究院的纳米线宽标准物质研制团队,以国际计量局规定的国际单位制米定义复现方法——硅晶格{220}方向尺寸(0.192nm)为基础,采用内禀硅晶格原子标尺的线宽标准物质设计方案,实现对线宽标准物质的原子级准确度(成功研制了与集成电路关键制程节点相对应的7nm、22nm、45nm的线宽标准物质,不确定度水平处在0...
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中国科学院纳米能源所杨亚Joule:通过掺杂和界面工程实现巨大的热...
2024年10月18日 - 澎湃新闻
(G)掺杂前后单晶的相场模拟。X射线衍射和透射电子显微镜图像表明掺杂使晶格常数减小。Mn的掺杂产生了晶格压缩,相场模拟显示由于这种压缩状态,材料的畴结构发生了显著变化,得出的热释电系数模拟结果与实验值一致。这种结构变化不仅增加了偶极矩,还提高了材料的剩余极化。因此,在相同的温度波动下,可以释放更多的束缚电荷...
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未来产业周报:首个深水油田二次开发项目投产;稀土勘探获得新突破
2024年9月20日 - 亿欧网
3.我国首次建立基于硅晶格常数溯源的集成电路纳米线宽标准物质近日,中国计量科学研究院的纳米线宽标准物质研制团队,以国际计量局规定的国际单位制米定义复现方法硅晶格{220}方向尺寸(0.192nm)为基础,采用内禀硅晶格原子标尺的线宽标准物质设计方案,实现对线宽标准物质的原子级准确度(<1nm)计量溯源,成功研制了与集成电路...
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