...和蚀刻结晶的铜蚀刻液组合物专利,能够减少结晶堆积,避免堵塞管道
2024年6月3日 - 新浪
专利摘要显示,本发明提供了一种减少剥离水洗后铜腐蚀和蚀刻结晶的铜蚀刻液组合物,涉及铜蚀刻液组合物。本发明是利用双氧水、硫酸、乙二胺四亚甲基膦酸、丙酮肟、乙醇酸、磷酸、L??苹果酸、1,2,3,4,5??五羟基己酸、聚乙烯醇和纯水配制而成。在铜被蚀刻过程中,本发明铜蚀刻液组合物中的Cu2+会与O2??反应...
详情
专利摘要显示,本发明提供了一种减少剥离水洗后铜腐蚀和蚀刻结晶的铜蚀刻液组合物,涉及铜蚀刻液组合物。本发明是利用双氧水、硫酸、乙二胺四亚甲基膦酸、丙酮肟、乙醇酸、磷酸、L??苹果酸、1,2,3,4,5??五羟基己酸、聚乙烯醇和纯水配制而成。在铜被蚀刻过程中,本发明铜蚀刻液组合物中的Cu2+会与O2??反应...