光学3D表面轮廓仪:满足多元超精密微观尺寸测量需求

白光干涉测头具有体积小、重量轻、便携的特点,能够方便地搭载在各种具备XY水平位移架构的平台上,在产线上对器件表面进行自动化形式的测量,直接获取与表面质量相关的粗糙度、轮廓尺寸等2D/3D参数。在科研领域,科学家们可以利用光学3D表面轮廓仪来分析各种新型材料的表面特性,如粗糙度、纹理、高度分布等,从而深入了...

无锡卓海科技申请种轮廓仪专利,避免更换探针保证测试效率及结果

轮廓仪包括第一底座和探针,所述探针安装在所述第一底座上;载台,所述载台能够承载待测件;驱动机构,所述驱动机构能够驱动所述载台及所述待测件沿第一方向相对于所述探针运动;检测机构,所述检测机构与所述驱动机构电连接,所述检测机构能够检测到所述探针沿所述第一方向受力大于或等于预设数值,并发出第一信号,所...

菲特(天津)检测技术申请转轴参数标定方法及系统专利,提高对轮廓仪...

专利摘要显示,本发明公开了一种转轴标定方法及系统,包括获取标准球随转台转动期间的截面轮廓数据和转台角度数据;根据截面轮廓数据计算截面中心坐标及截面轮廓半径,并计算标准球中心到截面距离;对截面轮廓半径及转台角度建模,得到标准球中心坐标数据集;根据标准球中心坐标数据集进行空间平面圆拟合计算转轴锚点;获取标准球在不...

基于KLA 探针式轮廓仪的薄膜应力测量(HRP?? 系列和 Tencor??...

轮廓仪使用金刚石探针接触样品以收集形貌数据,沉积前后的数据收集采用相同的测试配方,以确保收集的数据具有相同的材料特性和数据分辨率。样品本征特性对于某些光学分析技术而言可能是个问题,而探针式轮廓仪的直接测量技术可以测量任何样品,不受样品特性的影响。应力测试配方的建立优化了数据采集,其关键参数包括扫描长度、探针...

布鲁克新推出先进的台式探针式轮廓仪---新型Dektak Pro扩大测量...

??????????Dektak探针式轮廓仪广泛应用于微电子、半导体、显示、太阳能、医疗和材料科学市场,是全球数百个生产、研究和故障分析中心必不可少的精密计量仪器。Dektak系统用于二维轮廓测量和三维表面轮廓分析应用,可测量应力、纳米薄膜厚度和台阶高度,重复性优于4埃。新型DektakPro引入了台阶高度和...

卓海科技申请接触式轮廓仪双镜头检测装置专利,检测结果更加可靠

专利摘要显示,本发明属于晶圆刻蚀图形检测技术领域,公开了一种接触式轮廓仪双镜头检测装置,包括设置于晶圆载台的上方的安装板,安装板上设置有测试探头,测试探头上设置有用于与晶圆载台上的晶圆接触的探针,测试探头的上方设置有俯视镜头,俯视镜头的聚焦点为晶圆上的刻蚀图形,以初步判断刻蚀图形的质量;测试探头的一侧设置...

三维轮廓仪测粗糙度:SuperView W光学3D表面轮廓仪功能详解

在精密制造领域,表面粗糙度的测量是确保产品质量的关键步骤。光学3D表面轮廓仪为这一需求提供了解决方案。在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业,表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。

激光光束轮廓仪在制造业和工程领域的应用前景非常广阔

激光光束轮廓仪是一种测量设备,用于测量物体表面的形状和轮廓。它使用激光束扫描物体表面,并通过计算反射光的时间和强度来确定物体表面的形状和轮廓。激光光束轮廓仪通常用于制造业和工程领域,用于测量零件和产品的尺寸和形状,以确保其符合规格和要求。激光光束轮廓仪市场是一个不断增长的市场,预计在未来几年内将继续...

中铝国际获得发明专利授权:“基于激光线轮廓仪阵列扫描的铝电解槽...

专利摘要:本发明公开了一种基于激光线轮廓仪阵列扫描的铝电解槽筑炉结果检测方法,首先是铝用筑炉机器人的布料装置进行布料,沿铝电解槽X轴方向按行前进,并通过编码器计算旋转臂前进的距离,沿铝电解槽Y轴方向垂直进行按行布料,并通过另外一个编码器计算Y轴移动的距离;然后铝筑炉机器人的振打装置沿电解槽Y轴方向按...

粗糙度轮廓仪功能简介:SJ5800一体型轮廓仪功能亮点

1、高精度测量系统SJ5800轮廓仪采用超高精度纳米衍射光学测量系统和高精度直线光栅X轴,结合计算机控制系统,确保了测量数据的准确性和可靠性。2、专业轴承测量专为轴承内外侧测量设计的大量程粗糙度测量范围,配合专业轴承夹具和滚子分析功能,使得SJ5800成为轴承行业的得力助手。