长春光机所在超大口径非球面光学反射镜检测上获新突破
中新网长春6月17日电(记者郭佳)记者17日从中国科学院长春光机所获悉,该所光学系统先进制造重点实验室(中国科学院)中国工程院院士张学军研究团队,提出了一种基于等效曲面的CGH(计算机生成全息图)检测精度校验方法,采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定,精度优于λ/150(λ=632.8nm...
超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验方法
近期,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造重点实验室张学军院士研究团队,提出了一种基于等效曲面的CGH检测精度校验方法,采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定,精度优于λ/150(λ=632.8nm)。目前,该成果以"Accuracyverificationmethodologyforcomputer-generatedholo...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
必须引入非球面反射镜来校正像差,但由于自由非球面参数数量有限(仅有两个反射镜可用),数值孔径和视场大小受到限制。等半径结构被命名为MET:2008年,R.M.Hudyma和R.Soufli作为超紫外投影物镜对其进行了仔细研究。数值孔径(NA)为0.3的MET是为了演示30纳米半间距成像而设计的。其中一个设计假定...
【中国科学报】给中国“千里眼”造最大“角膜”
4米磁流变抛光装备、FSGJ-4型非球面数控光学加工中心、4米磁控溅射镀膜机为代表的反射镜坯制备、光学加工与检测、改性与镀膜所需的30余台套大型装备,并自主开发了磁流变抛光控制、数控加工控制、3D轮廓检测、面形检测、膜层厚度检测等反射镜加工及检测软件,真正实现了大口径碳化硅反射镜全链路制造。
给中国“千里眼”造最大“角膜”
目前,长春光机所研制的大口径碳化硅反射镜已应用于多项国家重大工程任务。与此同时,长春光机所面向国民经济主战场,立足团队研究成果,孵化了多家高新技术企业,实现了以碳化硅陶瓷及其复合材料制品、中大口径非球面及自由曲面的高端精密光学元件加工与检测装备、新型光谱滤光片及基于光谱滤光片的成像光谱仪等为代表的高科...
Light | 世界最大碳化硅非球面反射镜的高精度制造
中科院长春光机所先进光学系统制造研究团队经过近20年技术攻关,攻克了大口径碳化硅镜坯制备、加工工艺、检测方法、改性镀膜等核心关键技术,突破了高结构刚度复杂曲面碳化硅光学反射镜先进制造技术,建立了4m量级大口径碳化硅非球面反射镜全链路集成制造系统,完成了世界最大口径碳化硅非球面反射镜的高精度制造(www.e993.com)2024年10月22日。
...精度球面透镜、非球面透镜、超光滑反射镜等指标要求高的光学产品
福晶科技:子公司至期光子主要聚焦于高精度棱镜、高精度球面透镜、非球面透镜、超光滑反射镜等指标要求高的光学产品同花顺(300033)金融研究中心9月10日讯,有投资者向福晶科技(002222)提问,贵司旗下至期光子介绍中描述至期光子聚焦于纳米精度的超精密光学元件及复杂光机组件的研发生产,致力于为半导体、生物医疗等前沿...
4米大口径碳化硅非球面光学反射镜研制成功
科技日报长春8月21日电(记者唐婷)“我们完成了直径4.03米口径高精度碳化硅(SiC)非球面反射镜制造,对其核心制造设备以及制造工艺拥有自主知识产权。”中科院长春光机所副所长张学军21日在项目验收会上介绍。大口径高精度非球面光学反射镜是高分辨率空间对地观测、深空探测和天文观测系统的核心元件,其制造技术水平对...
【新华网】我国研制出4米大口径碳化硅非球面光学反射镜
8月21日,科研人员在检测塔检查4米量级高精度碳化硅非球面反射镜表面情况。新华社记者许畅摄8月21日,科研人员在检测塔检查4米量级高精度碳化硅非球面反射镜表面情况。新华社记者许畅摄探索9年、经18个月加工“打磨”,一块直径4米、重达1.6吨的“大镜子”8月21日在中国科学院长春光学精密机械与物理研究...
...精密机械与物理研究所研制的4米大口径碳化硅非球面光学反射镜...
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的4米大口径碳化硅非球面光学反射镜通过项目验收8月21日,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研制的4米大口径碳化硅非球面光学反射镜通过项目验收,标志着我国大口径碳化硅非球面光学反射镜制造技术水平已经跻身国际先进行列。