特种气体输送管道系统的施工管理
2017年9月11日 - 网易
对超高纯气体管道.应采用内壁电解抛光的超低碳不锈钢管(SUS3I6LEP),表面粗糙度Ra10uin。对于制作EP管的母材普通的单真空熔化不锈钢是不能满足高纯气体的要求的,因单真空熔化不锈钢制作的附件和管道表面相对粗糙.易于吸附释放出微粒。应采用更先进的双真空熔化不锈钢,双真空熔化316L不锈钢中不纯杂质进一步减少,从而使成品...
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对超高纯气体管道.应采用内壁电解抛光的超低碳不锈钢管(SUS3I6LEP),表面粗糙度Ra10uin。对于制作EP管的母材普通的单真空熔化不锈钢是不能满足高纯气体的要求的,因单真空熔化不锈钢制作的附件和管道表面相对粗糙.易于吸附释放出微粒。应采用更先进的双真空熔化不锈钢,双真空熔化316L不锈钢中不纯杂质进一步减少,从而使成品...