技术前沿:半导体光刻
以下工艺过程是一个亮场掩膜版和负胶相作用的过程。光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上,为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的1/3,耗费时间约占整个硅片工艺的40~60%。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂...
中华人民共和国司法部
1、利用不低于2000吨/日(含)新型干法水泥窑或不低于6000万块/年(含)新型烧结砖瓦生产线协同处置废弃物,水泥窑协同处置垃圾焚烧飞灰使用水洗工艺脱盐预处理;新型干法水泥窑生产硫(铁)铝酸盐水泥、铝酸盐水泥、白色硅酸盐水泥等特种水泥工艺技术及产品的研发与应用;新型静态水泥熟料煅烧工艺技术的研发与应用;新型干法水泥...
《产业结构调整指导目录(2019年本)》
高密、高纯、高模量)、石墨(质)化阴极、内串石墨化炉开发与生产,环保均质化凉料设备开发与生产应用7、焦炉、高炉、热风炉用长寿节能环保耐火材料生产工艺;精炼钢用低碳、无碳耐火材料、保温材料和高效连铸用功能环保性耐火材料生产工艺8、钢铁产品全流程质量管控技术9、利用钢铁生产设备处理社会废弃物(不含危险废...
中华人民共和国国家发展改革委员会令第21号,公布关于修改《产业...
六、鼓励类“二十、纺织”第1项“差别化、功能性聚酯(PET)的连续共聚改性[阳离子染料可染聚酯(CDP、ECDP)、碱溶性聚酯(COPET)、高收缩聚酯(HSPET)、阻燃聚酯、低熔点聚酯等];熔体直纺在线添加等连续化工艺生产差别化、功能性纤维(抗静电、抗紫外、有色纤维等);智能化、超仿真等差别化、功能性聚酯(PET)及纤维...
中华人民共和国国家发展和改革委员会令(第21号) 国家发展改革委...
三十一、淘汰类“一、落后生产工艺装备”“(三)电力”第3项“以发电为主的燃油锅炉及发电机组(5万千瓦及以下)”修改为“以发电为主的燃油锅炉及发电机组”。三十二、淘汰类“一、落后生产工艺装备”“(四)石化”第10项“氯氟烃(CFCs)、含氢氯氟烃(HCFCs)、用于清洗的1,1,1-三氯乙烷(甲基氯仿)、主产四氯化...
中华人民共和国国家发展和改革委员会令
8.焦炉、高炉、热风炉用长寿节能环保耐火材料生产工艺;精炼钢用低碳、无碳耐火材料和高效连铸用功能环保性耐火材料生产工艺9.生产过程在线质量检测技术应用10.利用钢铁生产设备处理社会废弃物11.烧结烟气脱硫、脱硝、脱二恶英等多功能干法脱除,以及副产物资源化、再利用化技术...
产业结构调整指导目录(2011年修正本)
26、动物疫病新型诊断试剂、疫苗及低毒低残留兽药(含兽用生物制品)新工艺、新技术开发与应用27、优质高产牧草人工种植与加工28、天然橡胶及杜仲种植生产29、无公害农产品及其产地环境的有害元素监测技术开发与应用30、有机废弃物无害化处理及有机肥料产业化技术开发与应用31、农牧渔产品无公害、绿色生产...
产业结构调整指导目录(2011年本)(修正)
7.直径600毫米及以上超高功率电极、高炉用微孔和超微孔碳砖、特种石墨(高强、高密、高纯、高模量)、石墨(质)化阴极、内串石墨化炉开发与生产8.焦炉、高炉、热风炉用长寿节能环保耐火材料生产工艺;精炼钢用低碳、无碳耐火材料和高效连铸用功能环保性耐火材料生产工艺9.生产过程在线质量检测技术应用10.利用钢铁生产...