解读碳化硅测试带来的新挑战
2023年8月15日 - 电子工程世界
“白光干涉仪(WLI)轮廓仪在晶圆制造商现场用于质量保证/质量控制,以测量Si、GaN和SiC的晶圆粗糙度(亚纳米),”Bruker白光干涉仪产品经理SandraBergmann说道。“SiC衬底的生产更具挑战性。由于其硬度较高,抛光难度较大。因此,WLI对于优化/跟踪抛光过程至关重要。”SiC器件可以采用平面或沟槽技术。
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表面粗糙度20问,快收藏!|轮廓|度值|纹理|公差|间距_网易订阅
2021年12月18日 - 网易
Ra值可用电动轮廓仪直接测量,但不够直观。13.什么称为微观不平度十点高度(Rz)?答:在取样长度内,5个最大的轮廓峰高的平均值与5个最大谷深的平均值之和。Rz数值越大,表面也越粗糙。加小编微信Yuki7557获取10G数控教程,Rz用于评定表面粗糙度高度参数有较好的直观性,易在光学仪器上测量,但反映被测轮廓几何形状...
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表面粗糙度100个问与答,别以为很简单!
2018年4月14日 - 网易
答:在取样长度内,被测轮廓上各点至轮廓中线距离绝对值的算术平均值,Ra值越大,则表面越粗糙。Ra能客观地反映被测轮廓的几何特性。Ra值可用电动轮廓仪直接测量,但不够直观。13.什么称为微观不平度十点高度(Rz)?答:在取样长度内,5个最大的轮廓峰高的平均值与5个最大谷深的平均值之和。Rz数值越大,表面也...
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