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加热盘
江丰电子申请一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法专利,能有效矫正加热丝的位置,使得加热丝的居中度达到0.3mm以内
6月21日 10:05 - 金融界网站
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富创精密取得冷却功能的双温控加热盘专利,实现温度实时控制并达到制程所需的温度
6月4日 20:45 - 金融界网站
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