超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验方法
为突破口径限制,研究团队提出一种基于等效元件的CGH测量精度校验方法。通过模拟非球面波前传播过程,设计小口径等效元件(口径约减小一个数量级),使其在自准直测量光路中与超大口径非球面反射镜完全等效,进而采用小口径高精度轮廓检测等效元件传递的非球面波前基准,解决超大口径非球面反射镜CGH补偿元件的精度校验难题。...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
其中一个设计假定了一个虚拟透射掩膜和一个内嵌式投影物镜,其配置与图1类似,但照明必须通过虚拟透射掩膜提供。非球面反射镜用于校正像差,产生的残余均方根(rms)波前误差为0.027l。该投影仪结构紧凑,物像距离(OID)为276毫米。然而,由于其视场仅限于0.6毫米x0.2毫米,因此不适合用作光刻工具。2004...
中国又一个世界第一,长春光机所造出4M口径碳化硅非球面反射镜
长春光机所先进光学系统制造研究团队经过近20年技术攻关,攻克了大口径碳化硅镜坯制备、加工工艺、检测方法、改性镀膜等核心关键技术,突破了高结构刚度复杂曲面碳化硅光学反射镜先进制造技术,建立了4m量级大口径碳化硅非球面反射镜全链路集成制造系统,完成了世界最大口径碳化硅非球面反射镜的高精度制造。这项科研成果已经发...
Light | 世界最大碳化硅非球面反射镜的高精度制造
Light|世界最大碳化硅非球面反射镜的高精度制造中科院长春光机所先进光学系统制造研究团队经过近20年技术攻关,攻克了大口径碳化硅镜坯制备、加工工艺、检测方法、改性镀膜等核心关键技术,突破了高结构刚度复杂曲面碳化硅光学反射镜先进制造技术,建立了4m量级大口径碳化硅非球面反射镜全链路集成制造系统,完成了世界最大...
奥普光电:目前已经可以实现2m非球面反射镜的研制
奥普光电(002338.SZ)1月12日在投资者互动平台表示,公司原来可研制口径更多是1.5m,通过这个课题的研究,我们目前已经可以实现2m非球面反射镜的研制,并形成了加工工艺及相关标准;目前我们并没有看到蔡司有这方面的报道,所以没办法横向比较,但在超大口径高质量加工这方面,我们已和欧洲REOSC、美国亚利桑那大学达到同等水平。
4米大口径碳化硅非球面光学反射镜研制成功
科技日报长春8月21日电(记者唐婷)“我们完成了直径4.03米口径高精度碳化硅(SiC)非球面反射镜制造,对其核心制造设备以及制造工艺拥有自主知识产权(www.e993.com)2024年10月22日。”中科院长春光机所副所长张学军21日在项目验收会上介绍。大口径高精度非球面光学反射镜是高分辨率空间对地观测、深空探测和天文观测系统的核心元件,其制造技术水平对国...
“4米量级高精度碳化硅非球面反射镜集成制造系统”项目通过验收
8月21日,由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所承担的国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度SiC非球面反射镜集成制造系统”通过验收,标志着我国在大口径光学制造领域取得重大技术突破,形成大口径系列反射镜研制能力。大口径高精度非球面光学反射镜是高分辨率空间对地观测、深空探测和天文观测系统的核心元件。面向...
天问一号拍火星的相机不一般:200千米开外明察秋毫
这样高轻量化的光机结构,在火箭发射冲击振动等严苛力学环境下,可保证光学反射镜的间距最大变动量不超过5微米。对于750毫米左右的反射镜设计间距来讲,相对变化量不到十万分之一,真正算得上是“稳如泰山”。一机完成多种任务的关键:两种“视网膜”焦面成像探测器是相机的“视网膜”,光学系统将景物成像在探测器上...
optiXfab 1英寸13.5nm 极紫外多层膜反射镜-optiXfab-新品
导读:近日,北京众星联恒科技有限公司在仪器信息网发布optiXfab1英寸13.5nm极紫外多层膜反射镜新品得益于北京众星联恒科技有限公司在中国X射线、极紫外的专注,近10年的积累,对于极紫外光学技术及中国有较为深入的了解。而德国optiXfab公司于2012年开始商业化Fraunhofer研究所的Mo/Si多层膜专利技术,至今已经给客户生...
天问一号拍火星相机厉害了!200千米开外明察秋毫
这样高轻量化的光机结构,在火箭发射冲击振动等严苛力学环境下,可保证光学反射镜的间距最大变动量不超过5微米。对于750毫米左右的反射镜设计间距来讲,相对变化量不到十万分之一,真正算得上是“稳如泰山”。一机完成多种任务的关键:两种“视网膜”焦面成像探测器是相机的“视网膜”,光学系统将景物成像在探测器上...