今年实现5nm量产,2026年实现2nm,EUV光刻机破局者真的来了?
2024年3月11日 - 网易
但是否能打败荷兰阿斯曼还有待商榷。首先不可否认纳米压印技术的确有着不少的优点,比如能实现精度更小的图形化工艺,而且纳米压印技术的设备也相对来说更便宜,连传统光刻机的1/10都不到,可以说性价比超高。而且比起光刻机也更加节能,耗电量低。但凡事都不可能是真正完美无缺的,纳米压印技术也不例外。首先,纳...
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但是否能打败荷兰阿斯曼还有待商榷。首先不可否认纳米压印技术的确有着不少的优点,比如能实现精度更小的图形化工艺,而且纳米压印技术的设备也相对来说更便宜,连传统光刻机的1/10都不到,可以说性价比超高。而且比起光刻机也更加节能,耗电量低。但凡事都不可能是真正完美无缺的,纳米压印技术也不例外。首先,纳...