我国研制出4米大口径碳化硅非球面光学反射镜
这是8月21日拍摄的4米量级高精度碳化硅非球面反射镜。当日,探索9年、经18个月加工“打磨”,一块直径4米、重达1.6吨的“大镜子”在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所通过项目验收。这是国家重大科研装备研制项目“4米量级高精度碳化硅非球面反射镜集成制造系统”的最新成果,标志着我国大口径碳化硅非球面光学...
长春光机所在超大口径非球面光学反射镜检测上获新突破
提出了一种基于等效曲面的CGH(计算机生成全息图)检测精度校验方法,采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定,精度优于λ/150(λ=632.8nm)。
超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验方法
超大口径非球面反射镜CGH检测精度校验方法近期,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造重点实验室张学军院士研究团队,提出了一种基于等效曲面的CGH检测精度校验方法,采用小口径高精度轮廓仪实现了超大口径非球面反射镜CGH补偿元件标定,精度优于λ/150(λ=632.8nm)。目前,该成果以"Accuracyverificati...
世界最大口径碳化硅光学反射镜,中国造!
把一块1米口径的反射镜安装到空间相机中可以在几百公里的高空看到地面上汽车的轮廓如果把反射镜的口径加大到4米则可以清晰地看到汽车的天窗、后视镜等反射镜口径为2.4米的美国哈勃望远镜可探测到134亿光年外宇宙大爆炸时的宇宙信号目前,在全世界的光学望远镜的反射镜中采用碳化硅材质、口径最大的那一块...
全球最大口径碳化硅光学反射镜,中国造! | 科技自立自强之路
把一块1米口径的反射镜安装到空间相机中可以在几百公里的高空看到地面上汽车的轮廓如果把反射镜的口径加大到4米则可以清晰地看到汽车的天窗、后视镜等反射镜口径为2.4米的美国哈勃望远镜可探测到134亿光年外宇宙大爆炸时的宇宙信号目前,在全世界的光学望远镜的反射镜中...
东海研究 | 深度:光刻机:国产设备发展任重道远,零组件企业或将...
(1)瑞利公式指引光刻机技术不断突破(www.e993.com)2024年10月22日。高端的工艺制程具有更小的线宽以及更高的曝光分辨率,这就需要提到极其重要的瑞利公式:R=K*λ/Na,K为工艺因子常数,其理论极限值是0.25,λ为光源波长,Na为物镜的孔径数值。光刻机可以通过提高工艺水平(缩小K值),缩小光源波长,提高数值孔径的方式来提高分辨率水平。(2)缩小光源...
EUV光刻新方案,大幅降低成本!
只需要两个非球面反射镜就能覆盖相当宽的像场。光学仿真证实,NA0.2将为2米高的物镜系统提供20毫米大小的像场。与浸没式光刻机ArFi相比,低NAEUV的分辨率更高,因为它的波长更短,仅为13.5纳米,比ArF的193纳米短15倍。临界尺寸或分辨率由阿贝方程决定:...
奥普光电:公司研制的设备可用于大口径非球面反射镜的加工制造
奥普光电:公司研制的设备可用于大口径非球面反射镜的加工制造金融界10月17日消息,奥普光电在互动平台表示,公司研制的两大设备:非球面精密铣磨设备和多自由度快速研抛备,可以加工2.5米口径光学元件,可用于大口径非球面反射镜的加工制造。本文源自:金融界AI电报作者:公告君...
...精度球面透镜、非球面透镜、超光滑反射镜等指标要求高的光学产品
请问,至期光子的纳米级超精密光学元件和复杂光机组件都包括哪些产品?都应有于哪些半导体设备?公司回答表示,感谢您对公司的关注!子公司至期光子主要聚焦于高精度棱镜、高精度球面透镜、非球面透镜、超光滑反射镜等指标要求高的光学产品。谢谢!
奥普光电:目前已经可以实现2m非球面反射镜的研制
奥普光电(002338.SZ)1月12日在投资者互动平台表示,公司原来可研制口径更多是1.5m,通过这个课题的研究,我们目前已经可以实现2m非球面反射镜的研制,并形成了加工工艺及相关标准;目前我们并没有看到蔡司有这方面的报道,所以没办法横向比较,但在超大口径高质量加工这方面,我们已和欧洲REOSC、美国亚利桑那大学达到同等水平。