真空等离子清洗设备的工作原理与优势
真空等离子清洗设备是利用等离子体的物理和化学作用来清洗物体表面的一种设备。在真空环境下,通过高频电场激发气体分子,使其电离形成等离子体。等离子体中的活性粒子与物体表面的污染物发生反应,将污染物分解为无害的物质,从而实现清洗的目的。真空等离子清洗设备二、真空等离子清洗设备的优势1.环保无污染与传统的化...
超高速静音潜艇成真!中国突破前沿动力技术,等离子体爆轰推进
这一结构能精准把控等离子体爆开的时间以及产生推力的方向,凭借像“爆冲”以及“冲击波可叠加”这样的原理,把激光促使等离子爆破的推力效率提升了4个数量级,相当于之前推力的10000倍,成功化解了长久以来困扰业界的难题,进而使这种具有划时代意义的推进器得以投入实际应用。这U型高精度结构的原理虽说不复杂,...
在线真空等离子处理机结构和原理详解
等离子体系统主要由等离子体发生器、等离子体室、放电电极和电源等组成。等离子体发生器负责产生等离子体,等离子体室则是等离子体的主要反应区域,放电电极则是产生等离子体的重要组成部分。3、样品架样品架是在线真空等离子处理机的样品支架,用于将待处理的样品放置在设备中进行处理。样品架的设计和制造需要考虑到样品的...
鼎泰高科取得等离子体增强清洗装置专利,能形成伞状辉光等离子体...
等离子体发生器、安装部、脉冲偏压电源,真空腔室具有进气口和出气口,离子体发生器包括呈空腔的本体部,本体部具有上部和下部,上部和下部相对设置且均设有若干镂空部;安装部伸入所述真空腔室内以供等离子体发生器进行安装;脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极,脉冲偏压电源的负极与等离子体发生器电连接。
中金公司:半导体真空零部件国产替代有望加速
由于干法设备通常需要在真空条件下,利用高频高压使电极周围的气体电离形成等离子体,再对晶圆进行加工,因此真空系统在干法(等离子体)设备中起到至关重要的作用。半导体真空系统通常由真空泵(低温泵、干泵、分子泵等)、真空阀门(隔离阀、传输阀、调压阀、插板阀等)、真空测量仪器(薄膜真空规、压力开关等)、真空腔体...
了解等离子清洗机的真空腔体结构和原理
1.等离子发生器等离子发生器是等离子清洗机的核心部分,它通过高频电场将气体转化为等离子体,实现表面污染物的清除(www.e993.com)2024年10月27日。等离子发生器通常位于真空腔体的上部,与真空腔体内部通过密封圈连接。2.样品架样品架通常位于真空腔体的下部,用于放置待清洗的样品。样品架一般采用不锈钢材质,以避免对样品的二次污染。
一万八干字详解半导体刻蚀工艺_腾讯新闻
在化学刻蚀过程中,刻蚀剂与材料表面发生化学反应,生成挥发性产物。例如,在反应离子刻蚀(RIE)过程中,等离子体中的活性自由基与材料表面反应生成气态化合物。这些气态化合物通过真空泵或其他排气系统从刻蚀腔室中移除,防止它们在表面重新沉积,确保刻蚀过程的连续性和均匀性。
我们距离“人造太阳”,还有多远?-虎嗅网
托卡马克的工作原理可以分为四个步骤:获得等离子体、持续加热至高温、发生聚变反应、实现自持燃烧。1)获得等离子体:在氘、氚燃料进入装置后,首先利用磁场生成的电场击穿燃料,将氘氚原子核的核外电子剥离,使其成为含原子核、电子的等离子体。2)持续加热至高温:利用中央螺线管的欧姆加热将真空室内温度加热至2000万度,...
太原市公安局监所管理支队公安医院医疗设备公开招标采购的采购公告
主机;双核及以上处理器,内存≥4G,硬盘≥1T;网卡:≥1000MB。5.3可移动推车1台5.4显示器2台≥22寸。6射频消融仪1.由射频发生器、脚踏开关、蠕动泵和串口线等组成。系统自动监测病人阻抗,可识别出当前附件,进入相应模式;可以连接注水型消融电极。
等离子体的原理是什么,最大特点又是什么?
其作用机制主要是利用等离子体中活性微粒的活化来去除物体表面的污迹,一般是将无机气体激发成等离子体。气相物在固体表面吸附。吸附基与固体表面分子发生反应,生成产物分子。产物分子分析,气相形成。反应与表面分离。真空等离子清洗技术的最大特点是可以处理金属、半导体、氧化物、有机化合物和大多数聚合物材料,而不受介...