万字长文,说透光刻机

光刻光源系统不断发展,从高压汞灯光刻光源到深紫外光光源再到极紫外光光源。1)高压汞灯:一种气体放电电光源,汞蒸气被能量激发,汞原子最外层电子受到激发从而跃迁,落回后放出光子。放电管内充有启动用的氩气和放电用的汞。2)深紫外光光源:一般采用准分子激光器作为光源。准分子激光光源工作介质一般为...