东海研究 | 深度:光刻机:国产设备发展任重道远,零组件企业或将...
2024年9月13日 - 新浪
(3)非球面物镜减少投影物镜系统复杂度。为了实现场曲的矫正,投影物镜采用的都是“腰肚”式结构。最初系统的结构依次为正组,负组,正组,负组,正组,形成“腰肚”。当NA大于0.75时,需引入非球面镜片。一方面,如果采用全球面结构形式,光学元件的孔径尺寸及体积随着NA的增加急剧增加;另一方面,物镜投影物镜NA增加...
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超大光圈真有那么毒?你是怎么理解的?
2018年8月11日 - 网易
即便是一枚普通的套头也不是一片简单的凸透镜就能组装成镜头的,需要通过镀膜克服玻璃反光,通过镜片组补偿,解决球差、彗差、像散、场曲、畸变、色散等像差问题。可能你不知道,矫正离轴光线比近轴光线困难,或者说较远的离轴光线很难做到像近轴光线那样得到更好矫正,这也就是为什么,各种摄影金句中总是反复提醒,缩小...
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万字长文:说透光刻机|光刻机|ASML_新浪新闻
2023年6月25日 - 新浪
加入凹面反射元件。凹面有正的光焦度,对场曲的贡献是负值,凹面镜能较好的矫正场曲。ASMLDUV高端投影物镜的像差≤2nm。高端单反镜头像差最多达到200+nm,而ASMLDUV高端投影物镜的像差≤2nm,因此光刻机镜片的平整度要求非常高,同时物镜内还需要可动镜片,垂直、倾斜和多向修正镜头组装及生产过程中产生的像...
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显微镜的六种像差简介
2018年7月11日 - 新浪财经
消除方法:通过复杂的透镜组合来消除。五场曲(Curvatureoffield)“象场弯曲”。当透镜存在场曲时,整个光束的交点不与理想象点重合,虽然在每个特定点都能得到清晰的象点,但整个象平面则是一个曲面。这样在镜检时不能同时看清整个相面,给观察和照相造成困难。研究用显微镜的物镜一般都是平场物镜,这种物镜已经矫...
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